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半导体及芯片行业

行业应用介绍

公司一直在布局真空泵在半导体行业的应用,考虑到半导体行业许多工艺制程对真空泵的要求更为苛刻,如真空度、酸碱腐蚀及体积大小等,针对客户需要,公司通过泛半导体行业累计的设计经验以及不断的技术创新,多次帮助客户攻克半导体设备升级中真空问题的困扰,如大抽速机组助力IGBT模组真空回流制程、特制真空机组助力碳化硅长晶炉研发等,都取得满意的效果。
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